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特点

● 可携带至现场的手持式

● 可测量0.1μm单位

● 具有形状的样品也可非破坏的测量

● 不论基材材质、可测量其镀膜

测量项目

膜厚测量范围

1μm~50μm

测量重复性

0.01μm

测量时间

1秒以下


规格样式

量测原理

反射分光法(光干涉法)、非破坏性量测

膜厚量测范围

1~50μm(显示上限60μm)

重复精度

2.1σ 0.01μm(SiO2膜1μm)

量测时间

1秒内

量测层数

1层

数据输出

附属操作屏幕显示或以USB输出Excel档案

量测Spot

Φ1mm以下

重量

约1.1kg


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